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          除了制備條件之外,材料形成非晶態(tài)的能力主要取決于其化學成分。一般來說金屬元素不容易形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)。這是因為金屬原子間的鍵合不存在方向性,因而要抑制金屬原子間形成有序排列,需要的過冷度較大。合金或化合物形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的傾向明顯高于單一組元,因為化合物的結(jié)構(gòu)一般較復雜,組元間在晶體結(jié)構(gòu)、點陣常數(shù)、化學性質(zhì)等方面存在一定差別,而不同組元之間的相互作用又大大抑制了原子的擴散能力。在單一組元之中,Si,Ge,C,S等非金屬元素形成非晶態(tài)結(jié)構(gòu)的傾向性較大。這是因為這類元素形成共價鍵的傾向大,只要近鄰原子配位滿足要求,非晶態(tài)與晶態(tài)物質(zhì)之間的能量差別較小。例如,在有氫存在的條件下,Si原子將形成大量的H鍵,因而在800K沉積出的Si薄膜仍可能具有非晶態(tài)結(jié)構(gòu)。
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